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高低倍雙定位識別影像系統
實時監測系統的氣壓、水壓、電流等數值,避免主軸損傷
上料、位置校準、切割、清洗/干燥、下料均可自動完成
可以滿足8~12英寸晶圓的高精密切割加工,雙主軸同時切割,比單主軸切割產能提高85%以上
標配:刀片破損檢測、非接觸測高、自動磨刀
可滿足Wafer多樣化的切割需求
中國·深圳